Ciao, ti consiglio innanzitutto di flashare la recovery TWRP, magari prima di procedere alla nuova installazione così puoi fare un backup con questa.
Poi i soliti passaggi, wipe data, wipe cache e dalvik e format system, flash ROM, flash GApps, e... benvenuto nella CM12!
La ROM la puoi scaricare dal thread ufficiale su XDA:
http://forum.xda-developers.com/show....php?t=2936990